二维MEMS扫描微镜

VS-CDA014D

二维MEMS扫描镜(直径3.0mm /直径1.4mm)采用半导体硅技术制造,超低功耗静电驱动,快轴可达到几kHz共振模式,慢轴可实现稳定旋转,并可以实现 二维光束空间用户可以根据光学系统的实际应用选择合适的镜面尺寸; 镜面以铝为标准涂层材料,为可见光波长光束提供高反射率。 金还可以在大规模制造材料中用作镜子,以在其他波段中实现高反射率。

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